Як полірування глиноземних керамічних пластин і сапфірові диски для притирки, які використовуються в напівпровідникових, алмазних поліруваннях тощо.
Процес: усі типи процесу полірування та притирки, такі як хімічне механічне полірування CMP, механічне полірування, точне полірування.
Висока чистота і хімічна стійкість
Висока механічна міцність і твердість
Висока стійкість до корозії
Опір високої напруги
Стійкість до високих температур до 1700ºC
Надзвичайна стійкість до стирання
Чудова теплоізоляція
Усі типи розмірів 180, 360, 450, 600 мм тощо
| Назва продукту | Керамічні полірувальні диски з глинозему високої чистоти 99,7 |
| матеріал | 99,7% глинозему |
| Нормальний розмір | D180, 360, 450, 600 мм, приймається індивідуальний розмір. |
| Колір | Слонова кістка |
| застосування | Вафельний і сапфіровий процес CMP у напівпровідниковій промисловості |
| Мін.замовлення | 1 Мал |
| одиниця | 99.7 Глиноземна кераміка | ||
| Загальні властивості | Вміст Al2O3 | вага% | 99,7-99,9 |
| Щільність | г/куб.куб | 3,94-3,97 | |
| Колір | - | Слонова кістка | |
| Водопоглинання | % | 0 | |
| Механічні властивості | Міцність на вигин (MOR) 20 ºC | Мпа(psix10^3) | 440-550 |
| Модуль пружності 20ºC | ГПа (psix10^6) | 375 | |
| Твердість за Віккерсом | Gpa (кг/мм2) R45N | >=17 | |
| Міцність на вигин | Gpa | 390 | |
| Міцність на розрив 25ºC | МПа (psix10^3) | 248 | |
| В'язкість до руйнування (KI c) | Мпа* м^1/2 | 4-5 | |
| Теплові властивості | Теплопровідність (20ºC) | Вт/мк | 30 |
| Коефіцієнт теплового розширення (25-1000ºC) | 1x 10^-6/ºC | 7.6 | |
| Стійкість до термічного удару | ºC | 200 | |
| Максимальна температура використання | ºC | 1700 | |
| Електричні властивості | Діелектрична міцність (1 МГц) | ac-kv/mm (ac v/mil) | 8.7 |
| Діелектрична проникність (1 МГц) | 25ºC | 9.7 | |
| Об'ємний питомий опір | Ом-см (25ºC) | >10^14 | |
| Ом-см (500ºC) | 2×10^12 | ||
| Ом-см (1000ºC) | 2×10^7 |
Приймаємо індивідуальні замовлення.
Якщо ви хочете дізнатися більше про продукт, будь ласка, зв’яжіться з нами, і ми запропонуємо вам найбільш відповідний продукт і найкраще обслуговування!